三明模具清洗机公司
适用于2"~6"硅片的清洗及湿法腐蚀。能够有效的去除硅片表面的油污及其它有机物、除胶、去金属离子等。清洗槽部分包括化学槽、加热槽和快排槽设备的电气、管路、循环系统,均采用部件;PLC控制,清洗时间可调。设备组成:在线加热、清洗槽、伺服系统、电气控制系统、机架等。可根据用户要求配置氮气枪、DI水枪、恒温水浴、热台、超声清洗、DI水在线加热装置、DI水电导率测试仪等本设备为浸泡式清洗机,用于半导体行业扩散炉石英管清洗槽体材料为聚丙烯(PP)塑料或PVDF材料,支架采用不锈钢,耐腐蚀管件、泵、电磁阀均选用的是产品,性能稳定触摸屏PLC控制,流量及温度,超纯净泵的压力、流量可设置选配气体喷枪可根据用户要求订制清洗对象是2~8英寸的硅研磨片。设备整体采用PLC控制,通过设定工作节拍传送篮具依次经过各个工序,由上料开始到下料均自动完成。设备工作节拍,
喷淋鼓泡漂洗槽作用;将残留在模具上的洗模液,清洗剂冲洗干净。第四槽:防锈寝泡钝化槽防锈寝泡槽作用;将清洗后的模具防锈钝化处理,生锈。超声波技术参数和特点超声波发生器采用目前通用的他激式震荡线路结构,较以前的自激式震荡线路结构在输出功率增加15%以上。超声波发生器装置工作电压AC220±10V。超声波发生器具有过压,过流,输出短路等保护措施。超声波发生器有频率微调的功能,调整范围2%,在不同的工况条件下略微调整使换能器工作在状态下,换能效率达到大,在不同工况下达到效果。
是向金属表面发射气体,用桑拿的效果除去金属表面的脏物,不纯物,还可以完全除去树脂成分,湿气;通过超声波的震动污垢剥离漂浮起来,金属附在阴极,即使相当小的角落里的污垢也能完全去除
设备型号-----------------JH-0100Q激光功率-----------------100W激光波长-----------------1064nm激光脉冲-----------------20~200kHz冷却方式-----------------风冷工作环境-----------------5~50℃外形尺寸-----------------650mm×500mm×270mm