阳江双槽超声波清洗机厂家哪家好
炉前(RCA)清洗:扩散前清洗。光刻后清洗:除去光刻胶。氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面的沾污物。抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的沾污。外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及光胶残渣。离子注入后的清洗:除去光刻胶,SiO2层。扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的BSG和PSG。CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。附件及工具的清洗:除去表面的沾污物。可用于完成扩散前、光刻后、CMP后及氧化前等工艺的清洗工作。例如:RCA清洗、SPM清洗、SC清洗、金属离子及杂物去除清洗等。全自动硅片清洗机手动硅片清洗机附件及工具清洗设备有机化学超净工作台硅片清洗设备特点手动硅片清洗设备特点:可根据不同的清洗工艺配置各种相应的清洗功能槽。功能槽包括:加热酸缸、HF腐蚀、BHF(HF恒温缓冲腐蚀)、超声清洗槽、恒温水浴、QDR(快排冲水)、电炉等。
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的清洗工艺还需做清洗实验来验。只有这样,才能提供合适的清洗系统、设计合理的清洗工序以及清洗液。考虑到清洗液的物理特性对超声清洗的影响,其中蒸汽压、表面张力、黏度以及密度应为显着的影响因素。温度能影响这些因素,所以它也会影响空化作用的效率。清洗系统使用清洗液。清洗件处理超声清洗的另一个考虑因素是清洗件的上、下料或者说是放置清洗件的工装的设计。清洗件在超声清洗槽内时,无论清洗件还是清洗件篮都不得触及槽底。清洗件总的横截面积不应超过超声槽横截面积的70%。橡胶以及非刚化塑料会吸收超声波能量,故将此类材料用于工装时应谨慎。缘的清洗件也应引起注意。工装篮设计不当,或所盛工件太重,纵使好的超声清洗系统的效率也会被大大降低。钩子、架子以及烧杯都可用来支持清洗件。
超声波清洗机利用超声波的物理清洗作用,加上清洗介质的化学作用,再经过优化选择超声波频段及功率密度,可以实现对各种零部件内外油污、积碳、胶质等污物的彻底清洗。因此,我们要加大对超声波清洗机的使用和注意事项的重视,保证超声波清洗机的使用安全和延长超声波清洗机的使用寿命。
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超声波清洗时,在超声波的作用下,机械振动传到清洗槽内的清洗液中,使清洗液体内交替出现疏密相间的振动,液体不断受到拉伸和压缩。疏的地方受到拉伸,形成微气泡(空穴);密的地方受到压缩。由于清洗液内部受超声波的振动而频繁地拉伸和压缩,其结果使微气泡不断地产生和不断地破裂。微气泡破裂时,周围的清洗液以巨大的速度从各个方向伸向气泡的中心,产生水击。这种现象可以通过肉眼直接观察到,即在清洗液中可以看到有剧烈活动的气泡,而且清洗液上下对流。此时若将手指浸入清洗液中,则有强烈针刺的感觉。上述这种现象称为超声空化作用。