防城港超声波清洗设备厂家电话
近几年来已经发展到用大功率“功率模块”的方式。其输出功率从几十瓦直到几千瓦,工作频率从15kHz-40kHz。超声波清洗机用的超声波发生器,有以下特点:随着清洗液深度不同,换能器共振频率和阻抗变化很大。但是实践表明,槽内放进适量清洗物后,基本上就可以稳定在某一定数值上。一般来说,由于清洗负载变动较小,可以不要求复杂的频率自动跟踪电路。实用超声波发生器,大多数采用大功率自激式反馈振荡器。超声波换能器:超声波清洗机用的换能器。主要有以下几种:磁致伸缩换能器:国内用的磁致伸缩换能器大多数是用镍片叠成的窗口型换能器,将它银焊在清洗缸底部,然后用导线在窗口上绕一定卷数而成。
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清洗缸缸底要定期冲洗,不得有过多的杂物或污垢。每次换新液时,待超声波起动后,方可洗件超声波清洗设备特点通用超声波清洗机超声波清洗机的结构一般有超声电源和清洗器合为一体或分开布两种形式,一般小功率清洗机用一体式结构,而大功率清洗机采用分体式结构。超声波清洗机分体式结构由三个主要部分组成清洗缸;超声波发生器;超声波换能器。清洗缸:清洗缸是用来装载清洗液及被清洗工件的不锈钢容器,大多数工件可先装在网状框架内,再一起放人缸内清洗。超声波发生器:超声清洗机用的超声波发生器,从使用的元器件种类可以分电子管式的,可控硅式的和晶体管式的。
超声波清洗机采用不易燃洗涤剂,不使用易燃易爆物质进行清洗剂,使用设备时需确保易燃易爆物质的应用避免场合,用户必须使用一定的物质在特殊情况下,应咨询部门确认安全,并采取适当的安全措施。
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炉前(RCA)清洗:扩散前清洗。光刻后清洗:除去光刻胶。氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面的沾污物。抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的沾污。外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及光胶残渣。离子注入后的清洗:除去光刻胶,SiO2层。扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的BSG和PSG。CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。附件及工具的清洗:除去表面的沾污物。可用于完成扩散前、光刻后、CMP后及氧化前等工艺的清洗工作。例如:RCA清洗、SPM清洗、SC清洗、金属离子及杂物去除清洗等。全自动硅片清洗机手动硅片清洗机附件及工具清洗设备有机化学超净工作台硅片清洗设备特点手动硅片清洗设备特点:可根据不同的清洗工艺配置各种相应的清洗功能槽。功能槽包括:加热酸缸、HF腐蚀、BHF(HF恒温缓冲腐蚀)、超声清洗槽、恒温水浴、QDR(快排冲水)、电炉等。