济宁双槽超声波清洗机市场报价
炉前(RCA)清洗:扩散前清洗。光刻后清洗:除去光刻胶。氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面的沾污物。抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的沾污。外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及光胶残渣。离子注入后的清洗:除去光刻胶,SiO2层。扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的BSG和PSG。CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。附件及工具的清洗:除去表面的沾污物。可用于完成扩散前、光刻后、CMP后及氧化前等工艺的清洗工作。例如:RCA清洗、SPM清洗、SC清洗、金属离子及杂物去除清洗等。全自动硅片清洗机手动硅片清洗机附件及工具清洗设备有机化学超净工作台硅片清洗设备特点手动硅片清洗设备特点:可根据不同的清洗工艺配置各种相应的清洗功能槽。功能槽包括:加热酸缸、HF腐蚀、BHF(HF恒温缓冲腐蚀)、超声清洗槽、恒温水浴、QDR(快排冲水)、电炉等。
使用超声波清洗机设备规范的电源和电源线,用户的电源电路必须配备专用于清洗机的空气开关,以便在需要时打开和清洁机电源。由于超声波清洗机与水、腐蚀(肿胀)液位接触,易引起渗漏,请遵照接地线的安全要求。
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一种物件的清洗可以根据其污垢的性质,采用机械物理力清洗的方法或化学力清洗的方法,还可以用各种组合方法来进行清洗。若是用自来水或净水为清洗液的超声波清洗属物理力的清洗,若在清洗液中添加一些洗涤剂,则属于组合清洗,对不同的清洗对象选用不同的洗涤剂,更具有明显的清洗效果。几种清洗方法洗净效果比较。两种清洗方法洗净效果比较。超声波清洗的原理把液体放入清洗槽内,给槽内作用超声波。由于超声波与声波一样是一种疏密的振动波,介质的压力作交替变化。如果对液体中某一确定点进行观察,这点的压力如图2曲线A所示。以静压(一般一个大气压)为中心,产生压力的增减,若依次增强超声波的强度,则压力振幅也随着增加,像图2曲线B那样,并产生负的压力。
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超声波发生器:超声清洗机用的超声波发生器,从使用的元器件种类可以分电子管式的,可控硅式的和晶体管式的。近几年来已经发展到用大功率“功率模块”的方式。其输出功率从几十瓦直到几千瓦,工作频率从15kHz—40kHzo超声清洗机用的超声波发生器,有以下特点:随着清洗液深度不同,换能器共振频率和阻抗变化很大。但是实践表明,槽内放进适量清洗物后,基本上就可以稳定在某一定数值上。一般来说,由于清洗负载变动较小,可以不要求复杂的频率自动跟踪电路。