鞍山三槽超声波清洗机公司
所谓负压,但实际上负的压力是不存在的,这是在液体中产生撕裂的力,且形成真空的空泡,并被后面的压缩力压挤而破灭。这种在声场作用下的振动,当声压达到超声波清洗一定值时,气泡将迅猛增长,然后又突然闭合,在气泡闭合时,由于液体间相互碰撞产生强大的冲击波,在其周围产生上千个大气压的压力。这也就是所说的“超声空化”。超声清洗就是利用了空化作用的冲击波,其清洗过程中由下列四个因素作用所引起。因空泡破灭时产生强大的冲击波,污垢层在冲击波的作用下被剥离下来,即分散及脱落。
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根据超声清洗的经验来看,不同工件、相同工件的不同制作工艺、不同材料、清洁度要求不一、工件几何形状不同、清洗剂选择不同,对清洗工艺均有非常大的影响,从而清洗设备的结构也不相同。有些甚至需通过实验来确定。选择合理的清洗工艺路线,即可收到良好效果,还可以降低设备制造成本。
炉前(RCA)清洗:扩散前清洗。光刻后清洗:除去光刻胶。氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面的沾污物。抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的沾污。外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及光胶残渣。离子注入后的清洗:除去光刻胶,SiO2层。扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的BSG和PSG。CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。附件及工具的清洗:除去表面的沾污物。可用于完成扩散前、光刻后、CMP后及氧化前等工艺的清洗工作。例如:RCA清洗、SPM清洗、SC清洗、金属离子及杂物去除清洗等。全自动硅片清洗机手动硅片清洗机附件及工具清洗设备有机化学超净工作台硅片清洗设备特点手动硅片清洗设备特点:可根据不同的清洗工艺配置各种相应的清洗功能槽。功能槽包括:加热酸缸、HF腐蚀、BHF(HF恒温缓冲腐蚀)、超声清洗槽、恒温水浴、QDR(快排冲水)、电炉等。
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随着电子技术的日新月异,超声波清洗也同我们日常工作密不可分,超声波清洗机经过了几代的演变,技术更加,效果更加显著,同样,它的价格也越来越多的被社会所接受,在各行各业中逐渐被广泛运用。超声波是以每秒4万6千次的振动在液体中传导,由于超声波是一种压缩纵波,在推动介质的使用下会使液体中压力变化而产生无数微小真空气泡,造成空穴效应,当气泡受压爆破时,会产生强大的冲击力,同时超声波还有乳化中和作用能更有效被清洗掉的油污重新附在被清洗物体上。