滨州超声波清洗设备厂家供应
超声清洗就是利用了空化作用的冲击波,其清洗过程中由下列四个因素作用所引起。因空泡破灭时产生强大的冲击波,污垢层在冲击波的作用下被剥离下来,即分散及脱落。因空化现象产生的气泡。由冲击形成的污垢层与表面之间的间隙和空隙渗透,由于这种小气泡与声压同步膨胀,收缩,产生像剥皮那样的物理力重复作用于污垢层,污垢一层层被剥开,小气泡再继续向前推进,直到污垢层被剥下为止。这就是空化二次效应。超声清洗中清洗液的超声振动本身对清洗的作用力。例如:20kHz,2Wcm2的超声波在清洗液中传播时,它将引起质点的振动,位移幅度132lLm,速度016ms,加速度为204X104msz,(约为2删g的重力加速度),声压为145X105Pa,这表明清洗物表面的污垢层每秒将遭到2万次的激烈冲击。清洗剂也溶解了污垢,产生乳化分散的化学力。超声清洗的主要原理是超声空化作用,要获得良好的清洗效果,合理选择清洗槽中声场的声学参数和清洗液的物理化学性质是十分重要的。既然空化是主要的,那么如何产生空化呢?一般来说,空化不仅由介质特性决定,而且也与声场有关。
使用超声波清洗机设备规范的电源和电源线,用户的电源电路必须配备专用于清洗机的空气开关,以便在需要时打开和清洁机电源。由于超声波清洗机与水、腐蚀(肿胀)液位接触,易引起渗漏,请遵照接地线的安全要求。
滨州超声波清洗设备厂家供应
炉前(RCA)清洗:扩散前清洗。光刻后清洗:除去光刻胶。氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面的沾污物。抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的沾污。外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及光胶残渣。离子注入后的清洗:除去光刻胶,SiO2层。扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的BSG和PSG。CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。附件及工具的清洗:除去表面的沾污物。可用于完成扩散前、光刻后、CMP后及氧化前等工艺的清洗工作。例如:RCA清洗、SPM清洗、SC清洗、金属离子及杂物去除清洗等。全自动硅片清洗机手动硅片清洗机附件及工具清洗设备有机化学超净工作台硅片清洗设备特点手动硅片清洗设备特点:可根据不同的清洗工艺配置各种相应的清洗功能槽。功能槽包括:加热酸缸、HF腐蚀、BHF(HF恒温缓冲腐蚀)、超声清洗槽、恒温水浴、QDR(快排冲水)、电炉等。
滨州超声波清洗设备厂家供应
应当指出,超声波清洗过程中,除了超声波的上述作用外,还有所采用的清洗液的浸润、浸透、乳化、分散及溶解等作用,其结果大大加速清洗过程,提高清洗效果。超声波清洗效果及相关参数:清洗介质:采用超声波清洗,一般有两种清洗剂:化学清洗剂和水基清洗剂。清洗介质是化学作用,而超声波清洗是物理作用,两种作用相结合,以对物体进行充分、彻底的清洗。功率密度:超声波的功率密度越高,空化效果越强,速度越快,清洗效果越好。单对于精密的、表面光洁度甚高的物体,采用长时间的高功率密度清洗会对物体表面产生“空化”腐蚀。