衡水气相超声波清洗机厂家直销
炉前(RCA)清洗:扩散前清洗。光刻后清洗:除去光刻胶。氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面的沾污物。抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的沾污。外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及光胶残渣。离子注入后的清洗:除去光刻胶,SiO2层。扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的BSG和PSG。CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。附件及工具的清洗:除去表面的沾污物。可用于完成扩散前、光刻后、CMP后及氧化前等工艺的清洗工作。例如:RCA清洗、SPM清洗、SC清洗、金属离子及杂物去除清洗等。全自动硅片清洗机手动硅片清洗机附件及工具清洗设备有机化学超净工作台硅片清洗设备特点手动硅片清洗设备特点:可根据不同的清洗工艺配置各种相应的清洗功能槽。功能槽包括:加热酸缸、HF腐蚀、BHF(HF恒温缓冲腐蚀)、超声清洗槽、恒温水浴、QDR(快排冲水)、电炉等。
定期检查商用超声波清洗机的阀门工作是否正常,检查方法参照厂家说明,如果发现商用超声清洗机异常,就需要及时汇报或及时聘请相关人员进行维修。此外还需要每年对仪器的温度传感器等进行校准(由相关维保人员完成)。
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推荐使用水基MPC清洗剂,可循环使用,循环次数可达1000~3000次,大限度降低清洗的运行成本。可清洗小尺寸直径0.2mm,及0.2mm间隙的微小孔隙。磁力驱动泵避免系统泄漏清洗完毕后的自动提开机构超声波清洗原理超声波在超声波在本质上和声波是一样的,都是机械振动在弹性介质中的传播过程,超声波和声波的区别仅在于频率范围的不同。声波是指人耳能听到的声音,一般认为声波的频率在20~20000赫范围内,而振动频率超过20千赫以上的声波则称为超声波。超声波中振动频率在100千赫以下的称为低频超声波;振动频率在100千赫以上到数十兆赫的称为高频超声波。用于清洗的超声波所采用的频率为20~400千赫,属于低频及高频超声波的范围。
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空化阂的高低受到许多因素制约,主要有如下几个因素:空化阂与工作频率fa有关。频率越高,空化阂值越高,产生空化越难。气泡在声场的作用下将进行振动,但不一定发生崩溃(破灭),只有当声波的频率低于气泡的谐振频率时才可能使气泡破灭,而当声波的频率高于气泡的谐振频率时,气泡只进行复杂的振动,一般不发生气泡破灭。空化阂与介质中气泡半径有关,半径越小,空化阂越高。空化阂与声波作用时间长短有关,声波幅射时间越长,空化阂越低。空化阂与环境静压力有关,静压力越大,空化阂越高。空化阂与介质的粘滞性有关,粘度大,表面张力大,空化阂高。空化阂与液体含气量有关,含气量越少,空化阂越高。空化阂与清洗液温度有关,清洗液温度升高,对空化有利。但清洗液温度过高时,气泡中蒸气压增大,因在气泡闭合期增强了缓冲作用而使空化减弱。而温度还与清洗液的溶解度有关。对于水清洗液较适宜的温度约为60。