十堰三槽超声波清洗机厂家哪家好
炉前(RCA)清洗:扩散前清洗。光刻后清洗:除去光刻胶。氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面的沾污物。抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的沾污。外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及光胶残渣。离子注入后的清洗:除去光刻胶,SiO2层。扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的BSG和PSG。CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。附件及工具的清洗:除去表面的沾污物。可用于完成扩散前、光刻后、CMP后及氧化前等工艺的清洗工作。例如:RCA清洗、SPM清洗、SC清洗、金属离子及杂物去除清洗等。全自动硅片清洗机手动硅片清洗机附件及工具清洗设备有机化学超净工作台硅片清洗设备特点手动硅片清洗设备特点:可根据不同的清洗工艺配置各种相应的清洗功能槽。功能槽包括:加热酸缸、HF腐蚀、BHF(HF恒温缓冲腐蚀)、超声清洗槽、恒温水浴、QDR(快排冲水)、电炉等。
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根据超声清洗的经验来看,不同工件、相同工件的不同制作工艺、不同材料、清洁度要求不一、工件几何形状不同、清洗剂选择不同,对清洗工艺均有非常大的影响,从而清洗设备的结构也不相同。有些甚至需通过实验来确定。选择合理的清洗工艺路线,即可收到良好效果,还可以降低设备制造成本。
超声波清洗机的优点如下:清洗速度快,清洗效果好,清洁度高,工件清洁度一致,对工件表面无损伤。不须人手接触清洗液,对深孔、细缝和工件隐蔽处亦清洗干净。节省溶剂、热能、工作场地和人工等。清洗精度高,可以强有力的清洗微小的污渍颗粒。超声波清洗机的应用超声波清洗机的应用概况:一定频率范围内的声波作用于液体介质内可起到清洗工件的作用,这一清洗技术自问世以来,受到了各行各业的普遍关注。超声波清洗的运用大地提高了工作效率和清洗效果,以往,清洗、盲孔和触及的藏污纳垢一直使人们备感茫然,超声波清洗的开发和运用使这一工作变得轻而易举。
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频率漂移≤土2KHZ。超声波发生器发出与换能器谐振的频率讯号只有一个,使发挥率并能自动跟踪、稳定在此频率上,免除时时调谐之麻烦。如强迫改变发生器频率,则输出功率大减且特性变坏。故超声波清洗机只能在三种频率中根据需要选定其中一种。超声波清洗机的构成:超波清洗机主要由超声波清洗槽和超声波发生器两部分构成。超声波清洗槽用坚固弹性好、耐腐蚀的不锈钢制成,底部安装有超声波换能器振子;超声波发生器产生高频高压,通过电缆联结线传导给换能器,换能器与振动板一起产生高频共振,从而使清洗槽中的溶剂受超声波作用对污垢进行洗净