盐城双槽超声波清洗机专业生产厂家
炉前(RCA)清洗:扩散前清洗。光刻后清洗:除去光刻胶。氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面的沾污物。抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的沾污。外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及光胶残渣。离子注入后的清洗:除去光刻胶,SiO2层。扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的BSG和PSG。CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。附件及工具的清洗:除去表面的沾污物。可用于完成扩散前、光刻后、CMP后及氧化前等工艺的清洗工作。例如:RCA清洗、SPM清洗、SC清洗、金属离子及杂物去除清洗等。全自动硅片清洗机手动硅片清洗机附件及工具清洗设备有机化学超净工作台硅片清洗设备特点手动硅片清洗设备特点:可根据不同的清洗工艺配置各种相应的清洗功能槽。功能槽包括:加热酸缸、HF腐蚀、BHF(HF恒温缓冲腐蚀)、超声清洗槽、恒温水浴、QDR(快排冲水)、电炉等。
由超声波清洗机技术的原理可知,这种清洗方式非常适合清洗发动机气缸体、气缸盖等形状复杂的构件。这类零部件若用人工清洗,有很多部位是难以甚至是无法清洗到的,即使使用工具也无法取得良好的清洗效果。清洗剂只能溶解部分污垢,对于顽固的污垢及零件内部的污垢常常是“力不从心“。超声波清洗技术是一种奇妙的物理清洗方法,犹如无数把小刷子同时清洗物体的内、外表面,可使用传统方法无法完成的内表面及内孔的清洗一次完成。
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超声波频率:超声波频率越低,在液体中产生空化越容易,作用也越强。频率高则超声波方向性强,适合于精细的物体清洗。一般来说,超声波在30oС~40oС时空化效果好。清洗剂则温度越高,作用越显著。通常实际应用超声波清洗时,采用30oС~60oС的工作温度。超声波清洗特点:就清洗方式而言,运用于工业清洗的清洗方式一般为手工清洗,有机溶剂清洗,蒸汽气相清洗,高压水射流清洗和超声波清洗。不论工件形状多么复杂,将其放入清洗液内,只要是能接触到液体的地方,超声波的清洗作用达到。尤其是对于形状和结构复杂、手工及其它清洗方式不能有效地进行清洗的工件,具有显著的清洗效果。清洗时液体内产生的气泡均匀,工件的清洗效果也均匀一致。超声波清洗可根据不同的溶剂达到不同的效果,如:除油、除锈或磷化,配合清洗剂的使用,加速污染物的分离和溶解,可有效清洗液对工件的腐蚀。
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超声波的选型计算方法:通常计算方法为:100W的超声波功率推动8kg以内的水,以此类推。一般每个振子额定功率为50W[峰值功率一般为100W]),经计算可确保有的空化强度。用户只需根据欲清洗之工件大小,生产率(一般细小工件每次清洗时间为3-7分钟,粗大得杂工件为10-30分钟),确定洗缸尺寸不同频率的功效比较:按超声频率分为25KHZ;30KHZ;40KHZ三种机型,其功效对比见下表