南平超声波清洗设备市场报价
炉前(RCA)清洗:扩散前清洗。光刻后清洗:除去光刻胶。氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面的沾污物。抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的沾污。外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及光胶残渣。离子注入后的清洗:除去光刻胶,SiO2层。扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的BSG和PSG。CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。附件及工具的清洗:除去表面的沾污物。可用于完成扩散前、光刻后、CMP后及氧化前等工艺的清洗工作。例如:RCA清洗、SPM清洗、SC清洗、金属离子及杂物去除清洗等。全自动硅片清洗机手动硅片清洗机附件及工具清洗设备有机化学超净工作台硅片清洗设备特点手动硅片清洗设备特点:可根据不同的清洗工艺配置各种相应的清洗功能槽。功能槽包括:加热酸缸、HF腐蚀、BHF(HF恒温缓冲腐蚀)、超声清洗槽、恒温水浴、QDR(快排冲水)、电炉等。
超声波清洗优点如下:清洗效果好,清洁度高且全部工件清洁度一致。清洗速度快,提高生产效率,不须人手接触清洗液,安全可靠。对深孔、细缝和工件隐蔽处亦可清洗干净。对工件表面无损伤,节省溶剂、热能、工作场地和人工。
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超声波清洗主要利用了液体的“空化效用”——当超声波在液体中辐射时,液体分子时而受拉,时而受压,形成无数个微小空腔,即所谓“空化泡”。待空化泡瞬间破裂时,会产生部液力冲击波(压强可高达1000个大气压以上),在这种压力连续冲击下,粘附在工件表面的各类污垢会被剥落;同时,在超声波的作用下,清洗液的脉动搅拌加剧,溶解、分散和乳化加速,从而把工件清洗干净。清洗效果好,清洁度高且工件清洁度一致;
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严禁干震。即无液开启超声工作;严禁踏、击超声震子粘接面,避免震子脱落;超声波发生器的工作环境应通风良好、定期清理保养;不随意更换、调整超声发生器内的元气件在目前的清洗方式中,超声波清洗是效率果好的一种,之所以超声波清洗能够达到如此的效果,是与它的工作原理和清洗方法密切相关的。我们知道,在生产和生活当中,需要保持清洁的东西很多,需要清洗的种类和环节也很多,常见的手工清洗方法无疑无法达到要求,即使是蒸汽清洗和高压水射流清洗也无法满足对清洁度较高的需求,因此这也是超声波清洗被日益广泛应用于各行各业的原因。