鄂州气相超声波清洗机厂家地址
两种清洗方式的比较溶剂清洗是比较传统的方法,其优点是清洗速度快,效率比较高,溶剂本身可以不断蒸馏再生,循环使用;但缺点也比较明显,由于光学玻璃的生产环境要求恒温恒湿,均为封闭车间,溶剂的气味对于工作环境多少都会有些影响,尤其是使用不封闭的半自动清洗设备时。半水基清洗是近年来逐渐发展成熟的一种新工艺,它是在传统溶剂清洗的基础上进行改进而得来的。它有效地避免了溶剂的一些弱点,可以做到,气味轻微,废液可排入污水处理系统;设备上的配套装置更少;使用周期比溶剂要更长;在运行成本上比溶剂更低。
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炉前(RCA)清洗:扩散前清洗。光刻后清洗:除去光刻胶。氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面的沾污物。抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的沾污。外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及光胶残渣。离子注入后的清洗:除去光刻胶,SiO2层。扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的BSG和PSG。CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。附件及工具的清洗:除去表面的沾污物。可用于完成扩散前、光刻后、CMP后及氧化前等工艺的清洗工作。例如:RCA清洗、SPM清洗、SC清洗、金属离子及杂物去除清洗等。全自动硅片清洗机手动硅片清洗机附件及工具清洗设备有机化学超净工作台硅片清洗设备特点手动硅片清洗设备特点:可根据不同的清洗工艺配置各种相应的清洗功能槽。功能槽包括:加热酸缸、HF腐蚀、BHF(HF恒温缓冲腐蚀)、超声清洗槽、恒温水浴、QDR(快排冲水)、电炉等。
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超声波清洗与其他清洗方法的比较:超声波清洗还可有效地降低污染,减少有毒溶剂对人类的损害,有清洗洁净度高、清洗速度快等。超声波设备的组成标准超声波清洗设备由三部分组成:超声波发生器(又称超声波电源)、换能器及其它的辅助系统。超声波发生器将工频电转变成28KHZ以上的高频电信号,通过电缆输送到换能器上。一般超声波换能器是固定在清洗槽的底板上,清洗槽内装满了液体,当换能器被加上高频电压后,它的压电陶瓷元件在电场作用下便产生纵向振动。超声波换能器(又称声头)是一种率的换能元件,能将电能转换成强有力的超声波振动,在产生超声波振动时,仿佛是一个小的活塞,振幅很小,约只有几微米。但这个振动加速度很大(几十至几千个g);槽上具有许多个换能器,施加相同的频率及相位的电能时,就合成了一个巨大的活塞进行往复振动,这种振动的现象,就是平时我们所说的超声波。以下是超声波的组成部分说明:
对超声波清洗器的清洁可以分为两种——日常清洁和定期清洁,前者在每次使用后都需要软性材料进行内外清理;而后者则须按照要求规dao定用专业的工具和方式定期做好清洁,期间要避免可能损伤仪器的行为。