莆田双槽超声波清洗机厂家有哪些
炉前(RCA)清洗:扩散前清洗。光刻后清洗:除去光刻胶。氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面的沾污物。抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的沾污。外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及光胶残渣。离子注入后的清洗:除去光刻胶,SiO2层。扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的BSG和PSG。CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。附件及工具的清洗:除去表面的沾污物。可用于完成扩散前、光刻后、CMP后及氧化前等工艺的清洗工作。例如:RCA清洗、SPM清洗、SC清洗、金属离子及杂物去除清洗等。全自动硅片清洗机手动硅片清洗机附件及工具清洗设备有机化学超净工作台硅片清洗设备特点手动硅片清洗设备特点:可根据不同的清洗工艺配置各种相应的清洗功能槽。功能槽包括:加热酸缸、HF腐蚀、BHF(HF恒温缓冲腐蚀)、超声清洗槽、恒温水浴、QDR(快排冲水)、电炉等。
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清洗缸缸底要定期冲洗,不得有过多的杂物或污垢。每次换新液时,待超声波起动后,方可洗件超声波清洗设备特点通用超声波清洗机超声波清洗机的结构一般有超声电源和清洗器合为一体或分开布两种形式,一般小功率清洗机用一体式结构,而大功率清洗机采用分体式结构。超声波清洗机分体式结构由三个主要部分组成清洗缸;超声波发生器;超声波换能器。清洗缸:清洗缸是用来装载清洗液及被清洗工件的不锈钢容器,大多数工件可先装在网状框架内,再一起放人缸内清洗。超声波发生器:超声清洗机用的超声波发生器,从使用的元器件种类可以分电子管式的,可控硅式的和晶体管式的。
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超声波清洗机的优点如下:清洗速度快,清洗效果好,清洁度高,工件清洁度一致,对工件表面无损伤。不须人手接触清洗液,对深孔、细缝和工件隐蔽处亦清洗干净。节省溶剂、热能、工作场地和人工等。清洗精度高,可以强有力的清洗微小的污渍颗粒。超声波清洗机的应用超声波清洗机的应用概况:一定频率范围内的声波作用于液体介质内可起到清洗工件的作用,这一清洗技术自问世以来,受到了各行各业的普遍关注。超声波清洗的运用大地提高了工作效率和清洗效果,以往,清洗、盲孔和触及的藏污纳垢一直使人们备感茫然,超声波清洗的开发和运用使这一工作变得轻而易举。
对超声波清洗器的清洁可以分为两种——日常清洁和定期清洁,前者在每次使用后都需要软性材料进行内外清理;而后者则须按照要求规dao定用专业的工具和方式定期做好清洁,期间要避免可能损伤仪器的行为。