绍兴超声波清洗设备厂家
炉前(RCA)清洗:扩散前清洗。光刻后清洗:除去光刻胶。氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面的沾污物。抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的沾污。外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及光胶残渣。离子注入后的清洗:除去光刻胶,SiO2层。扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的BSG和PSG。CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。附件及工具的清洗:除去表面的沾污物。可用于完成扩散前、光刻后、CMP后及氧化前等工艺的清洗工作。例如:RCA清洗、SPM清洗、SC清洗、金属离子及杂物去除清洗等。全自动硅片清洗机手动硅片清洗机附件及工具清洗设备有机化学超净工作台硅片清洗设备特点手动硅片清洗设备特点:可根据不同的清洗工艺配置各种相应的清洗功能槽。功能槽包括:加热酸缸、HF腐蚀、BHF(HF恒温缓冲腐蚀)、超声清洗槽、恒温水浴、QDR(快排冲水)、电炉等。
超声波清洗优点如下:清洗效果好,清洁度高且全部工件清洁度一致。清洗速度快,提高生产效率,不须人手接触清洗液,安全可靠。对深孔、细缝和工件隐蔽处亦可清洗干净。对工件表面无损伤,节省溶剂、热能、工作场地和人工。
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随着电子技术的日新月异,超声波清洗也同我们日常工作密不可分,超声波清洗机经过了几代的演变,技术更加,效果更加显著,同样,它的价格也越来越多的被社会所接受,在各行各业中逐渐被广泛运用。超声波是以每秒4万6千次的振动在液体中传导,由于超声波是一种压缩纵波,在推动介质的使用下会使液体中压力变化而产生无数微小真空气泡,造成空穴效应,当气泡受压爆破时,会产生强大的冲击力,同时超声波还有乳化中和作用能更有效被清洗掉的油污重新附在被清洗物体上。
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如何使用超声波清洗机超声波清洗机的使用应严格按以下要求分部骤操作。联结好清洗槽与发生器之间的电缆;将清洗液倒入清洗槽中(倒入清洗液的量就为放入被清洗物时,液面的位置约为整体的四分之三为佳);将被清洗物放入清洗槽;插上电源插头;设立清洗时间,开机。使用超声波清洗机应注意什么、超声波清洗机电源及电热器电源有良好接地装置。超声波清洗机严禁无清洗液开机,即清洗缸没有加一定数量的清洗液,不得合超声波开关。有加热设备的清洗设备严禁无液时打开加热开关。禁止用重物(铁件)撞击清洗缸缸底,以免能量转换器晶片受损。