合肥气相超声波清洗机市场报价
炉前(RCA)清洗:扩散前清洗。光刻后清洗:除去光刻胶。氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面的沾污物。抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的沾污。外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及光胶残渣。离子注入后的清洗:除去光刻胶,SiO2层。扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的BSG和PSG。CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。附件及工具的清洗:除去表面的沾污物。可用于完成扩散前、光刻后、CMP后及氧化前等工艺的清洗工作。例如:RCA清洗、SPM清洗、SC清洗、金属离子及杂物去除清洗等。全自动硅片清洗机手动硅片清洗机附件及工具清洗设备有机化学超净工作台硅片清洗设备特点手动硅片清洗设备特点:可根据不同的清洗工艺配置各种相应的清洗功能槽。功能槽包括:加热酸缸、HF腐蚀、BHF(HF恒温缓冲腐蚀)、超声清洗槽、恒温水浴、QDR(快排冲水)、电炉等。
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酸洗→排液→注纯水→溢流→注水→水洗→排液石英管清洗机特点采用浸泡、旋转式清洗;酸清洗为滚动浸泡式;水清洗为溢流式。采用多点支撑式工件旋转驱动装置,稳定、。操作符合人机工程原理,具有良好的操作界面,使用方便、灵活。可配置自动氮气鼓泡系统,有效提高产品质量,缩短清洗时间。结构紧凑,净化占地面积小,造型美观、实用。关键件采用件,提高了设备的性。采用耐腐蚀PP板材,防酸、防腐,有效避免酸雾的侵蚀。封闭式清洗,有效改善工作环境,保障操作人员。控制系统同时具备完善防腐、防潮功能,确保的工作环境化学湿台适用于半导体行业中基片的制造、集成电路芯片的制造等清洗工艺过程。适用于2"~6"基片的半导体清洗过程中,去除工件表面的油污及其它有机物、除胶、去金属离子等。可根据不同清洗工艺配置相应的清洗单元。各部分有独立的控制单元,可随意组合;配有在线方式的去离子水加热系统。结构紧凑,净化占地面积小,造型美观、实用,操作符合人机工程原理。可根据客户工艺定制。
超声波清洗机采用不易燃洗涤剂,不使用易燃易爆物质进行清洗剂,使用设备时需确保易燃易爆物质的应用避免场合,用户必须使用一定的物质在特殊情况下,应咨询部门确认安全,并采取适当的安全措施。
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全自动补液技术的硅片干燥前处理技术,硅片干燥不留水痕成熟的硅片干燥工艺,多种技术集于一身彩大屏幕人机界面操作,方便参数设置及多工艺方式转换上料→碱腐蚀→纯水漂洗→酸碱腐蚀→纯水漂洗→喷淋漂洗→酸中和→纯水漂洗→碱中和→纯水漂洗→烘干→下料各种规格的单晶硅、多晶硅太阳能电池硅片的制绒清洗太阳能硅片制绒超声波清洗机采用三套独立的电脑控制机械臂自动化作业采用第三代技术,全面完善的防酸防腐措施,保护到机器每一个角落