郴州超声波清洗设备市场报价
炉前(RCA)清洗:扩散前清洗。光刻后清洗:除去光刻胶。氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面的沾污物。抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的沾污。外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及光胶残渣。离子注入后的清洗:除去光刻胶,SiO2层。扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的BSG和PSG。CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。附件及工具的清洗:除去表面的沾污物。可用于完成扩散前、光刻后、CMP后及氧化前等工艺的清洗工作。例如:RCA清洗、SPM清洗、SC清洗、金属离子及杂物去除清洗等。全自动硅片清洗机手动硅片清洗机附件及工具清洗设备有机化学超净工作台硅片清洗设备特点手动硅片清洗设备特点:可根据不同的清洗工艺配置各种相应的清洗功能槽。功能槽包括:加热酸缸、HF腐蚀、BHF(HF恒温缓冲腐蚀)、超声清洗槽、恒温水浴、QDR(快排冲水)、电炉等。
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根据超声清洗的机理我们可选择**状态,并得到**的清洗效果。还应注意到选择**的声强。声强过高会产生大量气泡,在声波表面形成一道屏障,使声波不易辐射到整个液体空间,因而在远离声源的地方,清洗作用减弱。同时过高的声强,气泡膨胀过大,以至于在声波压缩相内,气泡来不及闭合。声强一般选在1W/cm2—2W/cm2,对于一些金属表面氧化膜难于清洗的污垢,则应采用较高的声强。3超声波清洗的应用超声波清洗设备一般可分为通用和两种机型。通用超声波清洗机超声波清洗机的结构一般有超声电源和清洗器合为一体或分开布两种形式,一般小功率(200W以下)清洗机用一体式结构,而大功率清洗机采用分体式结构。超声波清洗机分体式结构由三个主要部分组成,如图4所示。超声波发生器;超声波换能器;清洗缸:清洗缸是用来装载清洗液及被清洗工件的不锈钢容器,大多数工件可先装在网状框架内,再一起放人缸内清洗。
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z的磁力换能器和25KHz的压电换能器。高频通常被用於清洗较小、较精密的零件,或清除微小颗粒。高频还被用於被工件表面不允许损伤的应用。使用高频可从几个方面改善清洗性能。随着频率的增加,空化泡的数量呈线形增加,从而产生更多更密集的冲击波使其能进入到更小的缝隙中。如果功率保持不变,空化泡变小,其释放的能量相应减少,这样有效地减小了对工件表面的损伤。高频的另一个优势在於减小了粘滞边界层(泊努里效应),使得超声波能够发现细小的微粒。这种情况近似於小溪中水位降低时可以看清溪底的小石子。本公司提供了一系列中间频率的产品,有40kHz、80kHz、120kHz和170kHz。清洗微小的颗粒时,可选用频率为350kHz的产品。
为了保证超声清洗设备良好的使用品质和稳定的运转效果必须要采用合适的溶剂进行操作,借助超声清洗设备自身的空化效果和功能模式并使用优质的溶剂作为基础,才能够让这种超声清洗设备的运转更加畅快并且拥有更好的品质,也能够借助合理的容器避免对设备的运转造成腐蚀,让设备能够呈现稳定运转的同时拥有更好的使用寿命