晋中超声波清洗设备厂家有哪些
本设备为浸泡式清洗机,用于半导体行业扩散炉石英管清洗槽体材料为聚丙烯(PP)塑料或PVDF材料,支架采用不锈钢,耐腐蚀性能好管件、泵、电磁阀均选用的是产品,性能稳定触摸屏PLC控制,流量及温度,超纯净泵的压力、流量可设置可根据用户要求订制设备整体采用PLC控制,通过设定工作节拍传送篮具依次经过各个工序,由上料开始到下料均自动完成。设备工作节拍,各项参数设定采用触摸屏完成。设备整体为密闭结构,具有排风装置。独有的机械手设计使抓取定位更准确。注重人性化设计,可根据用户要求定制。
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磁致伸缩换能器国内用的磁致伸缩换能器大多数是用镍片叠成的窗口型换能器,将它银焊在清洗缸底部,然后用导线在窗口上绕一定卷数而成。此种换能器能承受较大功率,且性好,使用寿命长。缺点为效率较压电换能器低,原材料镍片价格贵。压电式换能器目前国内外大多数超声波清洗机用的是压电式换能器,勘L形结构如图5。这种换能器一般有两片压电陶瓷晶片组成。一台清洗机用多个换能器,经粘接剂粘接在清洗缸底部且经并联联接组成一台清洗机的换能器。换能器基元之间距(对于频率20kHz)一般在510mm为佳,太大了容易产生弯曲振动,且振动板受到腐蚀,同时辐射面相对减少。通用超声清洗机清洗零件适用性强,已广泛应用于电
当超声波清洗机长时间不使用时,请释放清洗液,在槽内和表面干燥后保护膜,防止设备腐蚀老化更快。保持超声波清洗机工作场所通风、干燥和清洁,这有利于超声波清洗机的长期有效运行,优化工作环境条件。
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炉前(RCA)清洗:扩散前清洗。光刻后清洗:除去光刻胶。氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面的沾污物。抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的沾污。外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及光胶残渣。离子注入后的清洗:除去光刻胶,SiO2层。扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的BSG和PSG。CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。附件及工具的清洗:除去表面的沾污物。可用于完成扩散前、光刻后、CMP后及氧化前等工艺的清洗工作。例如:RCA清洗、SPM清洗、SC清洗、金属离子及杂物去除清洗等。全自动硅片清洗机手动硅片清洗机附件及工具清洗设备有机化学超净工作台硅片清洗设备特点手动硅片清洗设备特点:可根据不同的清洗工艺配置各种相应的清洗功能槽。功能槽包括:加热酸缸、HF腐蚀、BHF(HF恒温缓冲腐蚀)、超声清洗槽、恒温水浴、QDR(快排冲水)、电炉等。