广西超声波清洗设备厂家
子、钟表、光学、机械、汽车、航空、原子能工业、医疗器械等许多行业。32超声波清洗机一般安装在某些特定物件清洗的生产流水线上。图6为典型的软磁器件超声波清洗设备,被清洗物件从进料口可传动的不锈钢网带送入超声波清洗槽清洗,再经喷淋、烘干等工序后出料,实现被清洗物件可直接包装入库。各工序简要说明如下:进料:物件进料可采用半自动进料或出料:物件出料可采用自动收料或手工收料方式,格被清洗物件装入包装盒内。通过上述工序就完成了物件实现利用超声波清洗的全过程。目前,还有一种超声汽相清洗机,它是选用有机溶剂作清洗液,具有强的溶解污垢的能力,用于清洗半导体晶片等洁净度要求高的物件。
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清洗速度快,提高生产效率;不须人手接触清洗液,;对深孔、细缝和工件隐蔽处亦可清洗干净;对工件表面无损;节省溶剂、热能、工作场地和人工等。超声波的两个主要参数:频率:F≥17.6KHz功率密度ρ=发射功率(w)/发射面积(cm2)通常ρ≥0.3W/CM2清洗效果及相关参数清洗介质:化学溶剂与水基清洗剂清洗温度:采用40℃-60℃的工作温度佳。温度低会降低溶液化学活性。而温度高则提高了气泡内气体的弹性。
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炉前(RCA)清洗:扩散前清洗。光刻后清洗:除去光刻胶。氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面的沾污物。抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的沾污。外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及光胶残渣。离子注入后的清洗:除去光刻胶,SiO2层。扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的BSG和PSG。CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。附件及工具的清洗:除去表面的沾污物。可用于完成扩散前、光刻后、CMP后及氧化前等工艺的清洗工作。例如:RCA清洗、SPM清洗、SC清洗、金属离子及杂物去除清洗等。全自动硅片清洗机手动硅片清洗机附件及工具清洗设备有机化学超净工作台硅片清洗设备特点手动硅片清洗设备特点:可根据不同的清洗工艺配置各种相应的清洗功能槽。功能槽包括:加热酸缸、HF腐蚀、BHF(HF恒温缓冲腐蚀)、超声清洗槽、恒温水浴、QDR(快排冲水)、电炉等。
为了保证超声清洗设备良好的使用品质和稳定的运转效果必须要采用合适的溶剂进行操作,借助超声清洗设备自身的空化效果和功能模式并使用优质的溶剂作为基础,才能够让这种超声清洗设备的运转更加畅快并且拥有更好的品质,也能够借助合理的容器避免对设备的运转造成腐蚀,让设备能够呈现稳定运转的同时拥有更好的使用寿命