辽宁双槽超声波清洗机厂家地址
炉前(RCA)清洗:扩散前清洗。光刻后清洗:除去光刻胶。氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面的沾污物。抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的沾污。外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及光胶残渣。离子注入后的清洗:除去光刻胶,SiO2层。扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的BSG和PSG。CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。附件及工具的清洗:除去表面的沾污物。可用于完成扩散前、光刻后、CMP后及氧化前等工艺的清洗工作。例如:RCA清洗、SPM清洗、SC清洗、金属离子及杂物去除清洗等。全自动硅片清洗机手动硅片清洗机附件及工具清洗设备有机化学超净工作台硅片清洗设备特点手动硅片清洗设备特点:可根据不同的清洗工艺配置各种相应的清洗功能槽。功能槽包括:加热酸缸、HF腐蚀、BHF(HF恒温缓冲腐蚀)、超声清洗槽、恒温水浴、QDR(快排冲水)、电炉等。
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根据超声清洗的经验来看,不同工件、相同工件的不同制作工艺、不同材料、清洁度要求不一、工件几何形状不同、清洗剂选择不同,对清洗工艺均有非常大的影响,从而清洗设备的结构也不相同。有些甚至需通过实验来确定。选择合理的清洗工艺路线,即可收到良好效果,还可以降低设备制造成本。
一种物件的清洗可以根据其污垢的性质,采用机械物理力清洗的方法或化学力清洗的方法,还可以用各种组合方法来进行清洗。若是用自来水或净水为清洗液的超声波清洗属物理力的清洗,若在清洗液中添加一些洗涤剂,则属于组合清洗,对不同的清洗对象选用不同的洗涤剂,更具有明显的清洗效果。几种清洗方法洗净效果比较。两种清洗方法洗净效果比较。超声波清洗的原理把液体放入清洗槽内,给槽内作用超声波。由于超声波与声波一样是一种疏密的振动波,介质的压力作交替变化。如果对液体中某一确定点进行观察,这点的压力如图2曲线A所示。以静压(一般一个大气压)为中心,产生压力的增减,若依次增强超声波的强度,则压力振幅也随着增加,像图2曲线B那样,并产生负的压力。
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应用范围:在的清洗方式中,超声波清洗是效率果好的一种,之所以超声波清洗能够达到如此的效果,是与它的工作原理和清洗方法密切相关的。我们知道,在生产和生活当中,需要清洁的东西很多,需要清洗的种类和环节也很多,如:物件的清除污染物,疏通细小孔洞,常见的手工清洗方法对异型物件以及物件隐蔽处无疑无法达到要求,即使是蒸汽清洗和高压水射流清洗也无法满足对清洁度较高的需求,超声波清洗对物件还能达到杀灭细菌、溶解有机污染物、过腐蚀等,因此,超声波清洗被日益广泛应用于各行各业:机械行业:防锈油脂的去除;量具的清洗;机械零部件的除油除锈;发动机、化油器及汽车零件的清洗;过滤器、滤网的疏通清洗等。