绍兴三槽超声波清洗机厂家排名
清洗速度快,提高生产效率;不须人手接触清洗液,;对深孔、细缝和工件隐蔽处亦可清洗干净;对工件表面无损;节省溶剂、热能、工作场地和人工等。超声波的两个主要参数:频率:F≥17.6KHz功率密度ρ=发射功率(w)/发射面积(cm2)通常ρ≥0.3W/CM2清洗效果及相关参数清洗介质:化学溶剂与水基清洗剂清洗温度:采用40℃-60℃的工作温度佳。温度低会降低溶液化学活性。而温度高则提高了气泡内气体的弹性。
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炉前(RCA)清洗:扩散前清洗。光刻后清洗:除去光刻胶。氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面的沾污物。抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的沾污。外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及光胶残渣。离子注入后的清洗:除去光刻胶,SiO2层。扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的BSG和PSG。CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。附件及工具的清洗:除去表面的沾污物。可用于完成扩散前、光刻后、CMP后及氧化前等工艺的清洗工作。例如:RCA清洗、SPM清洗、SC清洗、金属离子及杂物去除清洗等。全自动硅片清洗机手动硅片清洗机附件及工具清洗设备有机化学超净工作台硅片清洗设备特点手动硅片清洗设备特点:可根据不同的清洗工艺配置各种相应的清洗功能槽。功能槽包括:加热酸缸、HF腐蚀、BHF(HF恒温缓冲腐蚀)、超声清洗槽、恒温水浴、QDR(快排冲水)、电炉等。
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超声波频率越低,在液体中产生的空化越容易,产生的力度大,作用也越强,适用于工件粗、脏、初洗,频率高则超声波方向性强,适合于精细的物件清洗。一般来说,超声波在30℃~40℃时的空化效果**,清洗剂则温度越高,作用越显著,通常实际应用超声波清洗时,采用40℃~60℃的工作温度。(end)硅片超声波清洗机结构特点:采用三套独立的电脑控制机械臂自动化作业采用第三代技术,全面完善的防酸防腐措施,保护到机器每一个角落
为了保证超声清洗设备良好的使用品质和稳定的运转效果必须要采用合适的溶剂进行操作,借助超声清洗设备自身的空化效果和功能模式并使用优质的溶剂作为基础,才能够让这种超声清洗设备的运转更加畅快并且拥有更好的品质,也能够借助合理的容器避免对设备的运转造成腐蚀,让设备能够呈现稳定运转的同时拥有更好的使用寿命