四平模具清洗机公司
晶片的湿法化学工艺。该设备可有效去除晶片表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、塑料等附件器皿的污染物,且不破坏晶片表面特性。炉前(RCA)清洗:扩散前清洗。光刻后清洗:除去光刻胶。氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面的沾污物。抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的沾污。外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及光胶残渣。离子注入后的清洗:除去光刻胶,SiO2层。扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的BSG和PSG。CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。附件及工具的清洗:除去表面的沾污物。可用于完成扩散前、光刻后、CMP后及氧化前等工艺的清洗工作。例如:RCA清洗、SPM清洗、SC清洗、金属离子及杂物去除清洗等。全自动硅片清洗机手动硅片清洗机附件及工具清洗设备有机化学超净工作台
洗时,溢流为停止状态。电解电源为台湾品牌;电流0~200A可调,电压0~30V可调。配置;阴洗篮,阳电。超声波电解清洗槽作用;将模具上的残留氧化物,积碳,流化物,锈斑清洗去除。内槽尺寸:780×650×750(L×W×Hmm),槽体采用2.5mm厚304材料制作。高压喷淋泵;广州南方泵。漂洗槽设进水口、排液口、溢流口;进水管、排液管均设有阀门,水从溢流口流鼓泡:在槽里装有鼓泡管,与需方的气管路连接,通过自动阀门控制。
模具专用清洗剂,具有很强的清洁力,能迅速清除模具表面的污积物,有效去除模具表面的防锈膜、油脂、蜡质以及工业污垢,不残留痕迹,也可以清除附着于模具表面的胶料或顶针顽劣污渍。
硅片超声波清洗机结构特点:采用三套独立的电脑控制机械臂自动化作业采用第三代技术,全面完善的防酸防腐措施,保护到机器每一个角落全自动补液技术的硅片干燥前处理技术,硅片干燥不留水痕成熟的硅片干燥工艺,多种技术集于一身彩大屏幕人机界面操作,方便参数设置及多工艺方式转换上料→碱腐蚀→纯水漂洗→酸碱腐蚀→纯水漂洗→喷淋漂洗→酸中和→纯水漂洗→碱中和→纯水漂洗→烘干→下料清洗工艺:上料→碱腐蚀→纯水漂洗→酸碱腐蚀→纯水漂洗→喷淋漂洗→酸中和→纯水漂洗→碱中和→纯水漂洗→烘干→下料清洗工件:各种规格的单晶硅、多晶硅太阳能电池硅片的制绒清洗清洗溶剂:水基清洗剂产品特点:单机械手或多机械手组合,实现工位工艺要求。PLC全程序控制与触摸屏操作界面,操作便利。自动上下料台,准确上卸工件。净化烘干槽,的烘干前处理技术,工作干燥无水渍。全封闭外壳与抽风系统,确保良好工作环境。