宣城超声波清洗设备厂家供应
炉前(RCA)清洗:扩散前清洗。光刻后清洗:除去光刻胶。氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面的沾污物。抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的沾污。外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及光胶残渣。离子注入后的清洗:除去光刻胶,SiO2层。扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的BSG和PSG。CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。附件及工具的清洗:除去表面的沾污物。可用于完成扩散前、光刻后、CMP后及氧化前等工艺的清洗工作。例如:RCA清洗、SPM清洗、SC清洗、金属离子及杂物去除清洗等。全自动硅片清洗机手动硅片清洗机附件及工具清洗设备有机化学超净工作台硅片清洗设备特点手动硅片清洗设备特点:可根据不同的清洗工艺配置各种相应的清洗功能槽。功能槽包括:加热酸缸、HF腐蚀、BHF(HF恒温缓冲腐蚀)、超声清洗槽、恒温水浴、QDR(快排冲水)、电炉等。
使用超声波清洗机设备规范的电源和电源线,用户的电源电路必须配备专用于清洗机的空气开关,以便在需要时打开和清洁机电源。由于超声波清洗机与水、腐蚀(肿胀)液位接触,易引起渗漏,请遵照接地线的安全要求。
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表面处理行业:电镀前的除油除锈;离子镀前清洗;磷化处理;清除积炭;清除氧化皮;清除抛光膏;金属工件表面活化处理等。仪器仪表行业:精密零件的高清洁度装配前的清洗等。电子行业:印刷线路板除松香、焊斑;高压触点等机械电子零件的清洗等。医疗行业:医疗器械的清洗、、杀菌、实验器皿的清洗等。半导体行业:半导体晶片的高清洁度清洗。钟表首、饰行业:清除油泥、灰尘、氧化层、抛光膏等。化学、生物行业:实验器皿的清洗、除垢。光学行业:光学器件的除油、除汗、清灰等。纺织印染行业:清洗纺织锭子、喷丝板等。石油化工行业:金属滤网的清洗疏通、化工容器、交换器的清洗等。
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应当指出,超声波清洗过程中,除了超声波的上述作用外,还有所采用的清洗液的浸润、浸透、乳化、分散及溶解等作用,其结果大大加速清洗过程,提高清洗效果。超声波清洗效果及相关参数:清洗介质:采用超声波清洗,一般有两种清洗剂:化学清洗剂和水基清洗剂。清洗介质是化学作用,而超声波清洗是物理作用,两种作用相结合,以对物体进行充分、彻底的清洗。功率密度:超声波的功率密度越高,空化效果越强,速度越快,清洗效果越好。单对于精密的、表面光洁度甚高的物体,采用长时间的高功率密度清洗会对物体表面产生“空化”腐蚀。