北海双槽超声波清洗机厂家供应
超声波清洗机之所以能够起到清洗污垢的作用,其过程是由下列引起的:空化、声流、声的辐射压力和声学毛细效应。在清洗过程中,不洁物的表面会产生表面污垢膜的破坏、剥落、分离以及乳化、溶解等现象。不同的因素对清洗机的影响也不同。对于那些附着不太紧的污垢,清洗主要靠空化气泡(未爆破的空化气泡)振动力的作用。在污垢的边缘,由于脉冲气泡的强烈振动和爆破,破坏了污垢薄膜与物体表面之间的结合力,起到了扯裂与剥离的作用。声学辐射压力与声学毛细效应,促使洗涤液渗入被清洗物件的微小凹陷表面和微孔,声流可以促使污垢加速从表面脱离。
定期检查商用超声波清洗机的阀门工作是否正常,检查方法参照厂家说明,如果发现商用超声清洗机异常,就需要及时汇报或及时聘请相关人员进行维修。此外还需要每年对仪器的温度传感器等进行校准(由相关维保人员完成)。
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因空化现象产生如图3a所示的气泡。由冲击形成的污垢层与表面之间的间隙和空隙渗透,由于这种小气泡与声压同步膨胀,收缩,产生像剥皮那样的物理力重复作用于污垢层,污垢一层层被剥开,如图3b所示,小气泡再继续向前推进,直到污垢层被剥下为止。这就是空化二次效应。超声清洗中清洗液的超声振动本身对清洗的作用力。例如:20kHz,2W/cm2的超声波在清洗液中传播时,它将引起质点的振动,位移幅度1.32lLm,速度0.16m/s,加速度为2.04X104m/sz,(约为2删g的重力加速度),声压为1.45X105Pa,这表明清洗物表面的污垢层每秒将遭到2万次的激烈冲击。
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炉前(RCA)清洗:扩散前清洗。光刻后清洗:除去光刻胶。氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面的沾污物。抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的沾污。外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及光胶残渣。离子注入后的清洗:除去光刻胶,SiO2层。扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的BSG和PSG。CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。附件及工具的清洗:除去表面的沾污物。可用于完成扩散前、光刻后、CMP后及氧化前等工艺的清洗工作。例如:RCA清洗、SPM清洗、SC清洗、金属离子及杂物去除清洗等。全自动硅片清洗机手动硅片清洗机附件及工具清洗设备有机化学超净工作台硅片清洗设备特点手动硅片清洗设备特点:可根据不同的清洗工艺配置各种相应的清洗功能槽。功能槽包括:加热酸缸、HF腐蚀、BHF(HF恒温缓冲腐蚀)、超声清洗槽、恒温水浴、QDR(快排冲水)、电炉等。