哈尔滨气相超声波清洗机厂家供应
推荐使用水基MPC清洗剂,可循环使用,循环次数可达1000~3000次,大限度降低清洗的运行成本。可清洗小尺寸直径0.2mm,及0.2mm间隙的微小孔隙。磁力驱动泵避免系统泄漏清洗完毕后的自动提开机构超声波清洗原理超声波在超声波在本质上和声波是一样的,都是机械振动在弹性介质中的传播过程,超声波和声波的区别仅在于频率范围的不同。声波是指人耳能听到的声音,一般认为声波的频率在20~20000赫范围内,而振动频率超过20千赫以上的声波则称为超声波。超声波中振动频率在100千赫以下的称为低频超声波;振动频率在100千赫以上到数十兆赫的称为高频超声波。用于清洗的超声波所采用的频率为20~400千赫,属于低频及高频超声波的范围。
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超声波发生器电源应单独使用一路220V/50Hz电源并配装2000W以上稳压器。清洗缸缸底要定期冲洗,不得有过多的杂物或污垢。每次换新液时,待超声波起动后,方可洗件。使超声波清洗效果佳的方式超声波清洗槽的温度好为3050。根据不同的清洗对象正确选择清洗剂。清洗剂一般分为水基(碱性)清洗剂、有机溶剂清洗剂和化学反应清洗剂。通常使用多的为水基清洗剂。根据被清洗物的污染程度和污垢性质,选用不同的清洗时间。节约清洗液的小窍门超声波清洗机的清洗液可以循环使用,这种清洗方式可以节约大量的清洗液,每次使用完清洗机后,好将清洗液放入容器中,下次使用时再倒入清洗槽,余下的沉淀物可处理掉。
当超声波清洗机长时间不使用时,请释放清洗液,在槽内和表面干燥后保护膜,防止设备腐蚀老化更快。保持超声波清洗机工作场所通风、干燥和清洁,这有利于超声波清洗机的长期有效运行,优化工作环境条件。
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炉前(RCA)清洗:扩散前清洗。光刻后清洗:除去光刻胶。氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面的沾污物。抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的沾污。外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及光胶残渣。离子注入后的清洗:除去光刻胶,SiO2层。扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的BSG和PSG。CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。附件及工具的清洗:除去表面的沾污物。可用于完成扩散前、光刻后、CMP后及氧化前等工艺的清洗工作。例如:RCA清洗、SPM清洗、SC清洗、金属离子及杂物去除清洗等。全自动硅片清洗机手动硅片清洗机附件及工具清洗设备有机化学超净工作台硅片清洗设备特点手动硅片清洗设备特点:可根据不同的清洗工艺配置各种相应的清洗功能槽。功能槽包括:加热酸缸、HF腐蚀、BHF(HF恒温缓冲腐蚀)、超声清洗槽、恒温水浴、QDR(快排冲水)、电炉等。