湛江超声波清洗设备厂家直销
近几年来已经发展到用大功率“功率模块”的方式。其输出功率从几十瓦直到几千瓦,工作频率从15kHz-40kHz。超声波清洗机用的超声波发生器,有以下特点:随着清洗液深度不同,换能器共振频率和阻抗变化很大。但是实践表明,槽内放进适量清洗物后,基本上就可以稳定在某一定数值上。一般来说,由于清洗负载变动较小,可以不要求复杂的频率自动跟踪电路。实用超声波发生器,大多数采用大功率自激式反馈振荡器。超声波换能器:超声波清洗机用的换能器。主要有以下几种:磁致伸缩换能器:国内用的磁致伸缩换能器大多数是用镍片叠成的窗口型换能器,将它银焊在清洗缸底部,然后用导线在窗口上绕一定卷数而成。
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经过一系列清洗工序后下料的工件发热、洁净、干燥。选择清洗液时,应考虑以下三个因素:清洗效率:选择有效的清洗溶剂时,一定要作实验。如在现有的清洗工艺中引入超声,所使用的溶剂一般不必变更;操作简单:所使用的液体应、操作简单且使用寿命长;成本:廉价的清洗溶剂的使用成本并不一定。使用中考虑到溶剂的清洗效率、性、一定量的溶剂可清洗多少工件利用率高等因素。当然,所选择的清洗溶剂达到清洗效果,并应与所清洗的工件材料相容。水为普通的清洗液,故使用水基溶液的系统操作简便、使用成本低、应用广泛。然而对於某些材料以及污垢等并不适用於水性溶液,那么还有许多溶剂可供选用。清洗件处理超声清洗的另一个考虑因素是清洗件的上、下料或者说是放置清洗件的工装的设计。清洗件在超声清洗槽内时,无论清洗件还是清洗件篮都不得触及槽底。清洗件总的横截面积不应超过超声槽横截面积的70%。橡胶以及非刚化塑料会吸收超声波能量,故将此类材料用於工装时应谨慎。缘的清洗件也应引起注意。工装篮设计不当,或所盛工件太重,纵使好的超声清洗系统的效率也会被大大降低。
超声波清洗机利用超声波的物理清洗作用,加上清洗介质的化学作用,再经过优化选择超声波频段及功率密度,可以实现对各种零部件内外油污、积碳、胶质等污物的彻底清洗。因此,我们要加大对超声波清洗机的使用和注意事项的重视,保证超声波清洗机的使用安全和延长超声波清洗机的使用寿命。
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炉前(RCA)清洗:扩散前清洗。光刻后清洗:除去光刻胶。氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面的沾污物。抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的沾污。外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及光胶残渣。离子注入后的清洗:除去光刻胶,SiO2层。扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的BSG和PSG。CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。附件及工具的清洗:除去表面的沾污物。可用于完成扩散前、光刻后、CMP后及氧化前等工艺的清洗工作。例如:RCA清洗、SPM清洗、SC清洗、金属离子及杂物去除清洗等。全自动硅片清洗机手动硅片清洗机附件及工具清洗设备有机化学超净工作台硅片清洗设备特点手动硅片清洗设备特点:可根据不同的清洗工艺配置各种相应的清洗功能槽。功能槽包括:加热酸缸、HF腐蚀、BHF(HF恒温缓冲腐蚀)、超声清洗槽、恒温水浴、QDR(快排冲水)、电炉等。